Tài liệu số - Xem chi tiết

Tra cứu tài liệu



Tìm kiếm

Tìm kiếm chi tiết \| Tìm kiếm nâng cao


Nhan đề: Effects of material and dimension on TCF, frequency, and Q of radial contour mode AlN-on-Si MEMS resonators
Tác giả: Thi Dep Ha
Từ khóa/ Chủ đề: Anisotropic Contour mode Gyroscope Temperature coefficient of frequency (TCF)
Nhà xuất bản: Elsevier
Năm xuất bản: 2021
Mô tả vật lý: 13p.
Ngôn ngữ: eng

Nhan đề:

Effects of material and dimension on TCF, frequency, and Q of radial contour mode AlN-on-Si MEMS resonators

Tác giả:

Thi Dep Ha

Từ khóa/ Chủ đề:

Nhà xuất bản:

Elsevier

Năm xuất bản:

2021

Mô tả vật lý:

13p.

Ngôn ngữ:

eng

Danh sách tệp tin điện tử
Vui lòng đăng nhập trước khi xem chi tiết toàn văn.. Đăng nhập

Thảo luận

Gửi ý kiến

13.031.326